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Fabricant de machines de Dépôt de Couches Minces PVD (Alliance Concept)

AC450


AC450 : bâti R&D de dépôt de couches minces PVD par excellence (Alliance Concept) {JPEG}Machine de développement par excellence, le bâti AC450 est un système de dépôt de couches minces PVD par pulvérisation cathodique qui présente une diversité de configurations qui vous permettra de vous équiper de ce dont vous avez besoin.






Votre choix portera sur :
  • AC450 : cathodes co-focales (Alliance Concept) {JPEG}Configuration sputter up ou down
  • Sas d’introduction
  • Configuration planar (4 x 100 mm par exemple) ou convergente (3 x 100 mm)
  • Porte-substrat refroidi et/ou chauffant (jusqu’à 800°C)
  • Alimentations de puissance RF, DC, DC+ pour les cathodes
  • Polarisation RF du porte-substrat pour les phases d’activation de surface avant dépôt et/ou dépôt en mode bias
  • Pompage primaire sec ou à palettes
  • Pompage secondaire turbomoléculaire ou cryogénique
  • Asservissement de pression (totale ou partielle)
  • Etc …

Le modèle AC450 est compatible avec notre plate-forme cluster (voir notre clustertool CT200 Suivez ce lien pour en savoir plus ! (Alliance Concept) ). Cette versatilité vous permet, au fil des années et de vos projets d’acquérir un équipement multichambre de façon modulaire et échelonnée.

La configuration co-focale proposée en 3 x 100 mm ou 3 x 75 mm permet de réaliser des dépôt uniformes sur des substrats 8". A titre d’exemple nous pouvons réaliser un dépôt uniforme avec une uniformité < +/- 3% sur un substrat de 8".

  • Caractéristiques générales
Diamètre enceinte : 450 mm
Hauteur : 305 mm
Volume : Environ 50 litres
Vide limite (configuration turbo) : 5.10-7 mbar[1]
Vide limite (configuration cryogénique) : 5.10-8 mbar[1]
Capacité machine : Jusque 4 positions actives 100 mm
Uniformité planar : < +/- 5%[1]
Uniformité convergent : < +/- 3%[1]
Possibilité sas : Oui, transfert manuel ou automatique
Pilotage machine automatique : - Gestion des procédés ;
- Traçabilité.
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Plaquette de présentation AC450

[1] Ces valeurs sont des valeurs mesurées sur des équipements réalisés et sont données à titre indicatif car sont tributaires de la configuration finale de chaque équipement.

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