Alliance-concept
Accueil du site > Dépôt de couches minces > > Nos équipements > CT100 : double-chambre économique avec transfert manuel

Toutes les versions de cet article : [English] [français]

Fabricant de machines de Dépôt de Couches Minces PVD (Alliance Concept)

CT100


CT100 : (enceintes ouvertes) nouveau cluster manuel économique (Alliance Concept) {JPEG}La philosophie de ce nouveau développement de cluster PVD est de pouvoir offrir un système clustertool multi-chambre de haute qualité, à un coût maîtrisé qui saura s’adapter aux budgets les plus serrés.

L’équipement se compose de deux modules basés au choix sur les design de nos best-seller, la DP650 ou l’AC450, isolés l’un de l’autre par un sas permettant une contamination particulaire quasi-nulle.

  • Sas d’introduction central servant de chambre de transfertCT100 : chambre manuelle de transfert sous vide (Alliance Concept) {JPEG}
  • Transfert manuel sous vide de précision
  • Chambre de dépôt planar
  • Chambre de dépôt co-focale

Ce nouveau clustertool CT100 est la version manuelle à deux chambres de notre CT200, clustertool automatisé, qui peut accueillir jusqu’à 6 chambres.


  • Caractéristiques générales
Sas d’introduction : Mono-plaque
Chambre de transfert : 2 ports, transfert manuel
Chambre de process : diamètre 650 ou 450 selon la configuration retenue
Interface boîte à gants : Non
Vide limite (configuration turbo) : 5.10-7 mbar[1]
Implantation passe-paroi : Non
Pilotage machine automatique : - Gestion des procédés ;
- Editeur procédé externe ;
- Traçabilité.

[1] Ces valeurs sont des valeurs mesurées sur des équipements réalisés et sont données à titre indicatif car sont tributaires de la configuration finale de chaque équipement.

Portfolio

CT100 : vue d'ensemble du nouveau cluster manuel économique (Alliance (...) CT100 : chambre inférieure avec 4 positions de travail (Alliance (...)
LRQA | Plan du site | Suivre la vie du site RSS 2.0 © Alliance Concept
Mentions légales