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Fabricant de machines de Dépôt de Couches Minces PVD (Alliance Concept)

DP1100

DP1100 : machine de dépôts PVD de grand dimension avec une excellente uniformité {JPEG}
Sur la base de notre gamme DP (enceinte circulaire à axe vertical) de dépôts PVD par pulvérisation cathodique par exemple magnétron, nous avons développé une version avec un diamètre de chambre de 1100 mm.

Equipé de cathodes 300 mm, cet équipement permet de réaliser des dépôts uniformes sur substrats 200 mm !


La gamme DP (DP650, DP850 et maintenant DP1100) est le fer de lance de nos machines de dépôts de couches minces PVD par pulvérisation cathodique. Développées pour l’industrie et la R&D, les DP savent toujours s’adapter.

La robustesse et la rentabilité de cet équipement en fait un de nos best-seller !

  • Caractéristiques générales
Diamètre enceinte : 1100 mm
Hauteur : 480 mm
Volume : environ 350 litres
Vide limite (configuration turbo) : 5.10-7 mbar[1]
Vide limite (configuration cryogénique) : 5.10-8 mbar[1]
Capacité machine : Jusque 4 positions actives 100 mm
Uniformité planar : < +/- 5%[1]
Possibilité sas : Oui
Implantation passe-paroi : Oui
Pilotage machine automatique : - Gestion des procédés ;
- Traçabilité.
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Plaquette de présentation DP1100

[1] Ces valeurs sont des valeurs mesurées sur des équipements réalisés et sont données à titre indicatif car sont tributaires de la configuration finale de chaque équipement.

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