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Fabricant de machines de Dépôt de Couches Minces PVD (Alliance Concept)

DP850

DP850 : machine de production de couches minces PVD (Alliance Concept) {JPEG}
De par ses dimensions, le système DP850 est orienté vers la production. Pouvant recevoir jusqu’à 6 cathodes magnétron de 200 mm, il permet la réalisation de multicouches complexes.

Le sas d’introduction permet d’optimiser les temps de cycles et la qualité des films déposés.


Nous avons également réalisé ce système de 850 mm de diamètre pour des applications de recherche qui requièrent une configuration avec par exemple plus de 10 cathodes de 2".
  • Caractéristiques générales
Diamètre enceinte : 850 mm
Hauteur : 320 mm
Volume : environ 190 litres
Vide limite (configuration turbo) : 5.10-7 mbar[1]
Vide limite (configuration cryogénique) : 5.10-8 mbar[1]
Capacité machine : Jusque 6 positions actives 100 mm
Uniformité planar : < +/- 5%[1]
Possibilité sas : Oui, transfert automatique
Implantation passe-paroi : Oui
Pilotage machine automatique : - Gestion des procédés ;
- Traçabilité.
PDF - 2.5 Mo
Plaquette de présentation DP850

[1] Ces valeurs sont des valeurs mesurées sur des équipements réalisés et sont données à titre indicatif car sont tributaires de la configuration finale de chaque équipement.

Portfolio

DP850 : sas d'introduction (Alliance Concept) DP9850 : chambre à vide avec cassette (Alliance Concept)
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