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Fabricant de machines de Dépôt de Couches Minces PVD (Alliance Concept)

LINE1500


LINE1500 : dépôt de couches minces PVD grande surface (Alliance Concept) {JPEG}La LINE1500 est un bâti de dépôt de couches minces PVD au défilé vertical qui permet de traiter des substrats dont les dimensions correspondent aux standards photovoltaïques et écrans plats de GEN IV. En effet ce bâti, grâce à des sources magnétrons de 1,5 m développées en interne, permet la réalisation de couches minces PVD uniformes sur une surface de l’ordre de 1 m².

Le défilement linéaire du substrat sous les cathodes montées verticalement garantit une qualité de dépôt optimale.

Source magnétron de 2500 mm (LINE20000) ou 1500mm (LINE1500) (Alliance Concept) {JPEG}
Sa conception modulaire permet, en fonction de votre procédé, de combiner plusieurs modules de dépôt. La chambre peut également être munie d’un sas d’entrée qui peut être dupliqué en sortie en fonction du flux de production. D’un point de vue implantation, cet équipement industriel présente un footprint réduit au minimum.

Nous mettons à disposition permanente un équipement de ce type dans notre espace PVD Lab qui permet de démontrer la faisabilité d’un dépôt ou d’une idée de process.

  • Caractéristiques générales
Vide limite (configuration turbo) : 5.10-7 mbar[1]
Capacité machine : Jusque 4 cathodes 1 500 x 127 mm
Dimensions substrat : 100 x 100 cm
Uniformité planar : < +/- 5%[1]
Activation de surface : Oui, effluvage
Chauffage : Oui, jusqu’à 300°C
Pilotage machine automatique : - Gestion des procédés ;
- Traçabilité.
PDF - 2.4 Mo
Plaquette de présentation LINE1500

[1] Ces valeurs sont des valeurs mesurées sur des équipements réalisés et sont données à titre indicatif car sont tributaires de la configuration finale de chaque équipement.

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