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Fabricant de machines de Dépôt de Couches Minces PVD (Alliance Concept)

LINE20000


LINE20000 : des dimensions impressionnantes unique en Europe (Alliance Concept) {JPEG}Fer de lance de notre vision future des équipements de dépôt de couches minces PVD, le bâti LINE20000 reprend le principe fonctionnel du système LINE440 avec réalisation du dépôt par défilement horizontal du substrat sous les cathodes.

Un financement OSEO a rendu possible la réalisation de ce bâti hors normes générant ainsi le développement des cathodes magnétron d’une longueur de cible de 2500mm (voir projet PACA2M Suivez ce lien pour en savoir plus ! (Alliance Concept) ).

Muni d’au maximum huit cathodes, il offre une multitude de possibilités pour la réalisation d’empilements complexes sur des surfaces allant jusqu’à 2 m x 2 m. Le sas d’introduction est équipé d’une électrode d’effluvage.

LINE20000 : stacker pour stocker les substrats en attente (Alliance Concept) {JPEG}En amont du sas, une cassette externe ("stacker") permet de stocker cinq plateaux porte-substrat en attente de traitement.

Divers accessoires de caractérisation sont implantés, entre-autres :
  • Un système de mesure optique in-situ permet une caractérisation temps réel de la couche en cours de croissance
  • Spectrométrie de masse (RGA)
  • Spectrométrie optique pour asservissement pression partielle lors des dépôts réactifs

Ce bâti illustre parfaitement notre aptitude à réaliser des systèmes hors-normes et à relever des défis technologiques en gardant une parfaite maîtrise des coûts de fabrication.

  • Caractéristiques générales
Capacité machine : 2,0 x 2,1 m²
Epaisseur pièce : 400 mm max.
Charge maximale : 1 500 kg
Activation de surface : Oui, effluvage
Uniformité de dépôt : +/- 5% sur 2 m[1]
+/- 3% sur 1,5 m[1]
Dépôt : DC, DC pulsé, RF, MF
Vide limite de l’enceinte : 3.10-7 mbar[1]
Vitesse de défilement : 1 à 500 cm/mn
Pilotage machine automatique : - Gestion des procédés ;
- Traçabilité.
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Plaquette de présentation LINE20000

[1] Ces valeurs sont des valeurs mesurées sur des équipements réalisés et sont données à titre indicatif car sont tributaires de la configuration finale de chaque équipement.

Portfolio

Source magnétron de 2500 mm (LINE20000) ou 1500mm (LINE1500) (Alliance (...) LINE20000 : plasma généré dans la chambre de traitement (Alliance (...)
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