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Fabricant de machines de Dépôt de Couches Minces PVD (Alliance Concept)

LINE440


LINE440 (fermée) : dépôt automatisé de couches minces PVD en ligne (Alliance Concept) {JPEG}Bâti de dépôt de couches minces PVD par défilement horizontal du substrat sous les cathodes.

L’avantage majeur de cet équipement est de pouvoir réaliser les opérations de chargement/déchargement en temps masqué. Son sas à plusieurs niveaux (jusqu’à 4 positions) permet grâce à un mouvement vertical, garantissant une étanchéité, d’être outillé sans perturber le cycle de dépôt réalisé en simultané.

Le système est équipé de cathodes magnétron dont les dimensions de cibles sont 127 x 381 mm soit 5" x 15", dimensions standard utilisées dans le dépôt de couches minces.

Une position d’activation de surface par etching permet la préparation de la surface avant dépôt. Un chauffage rayonnant peut également être installé sur ce bâti soit au niveau du sas pour aider au dégazage des substrats, soit dans la chambre de dépôt.

Equipement complet muni d’un séquenceur d’étapes de process automatique, la LINE440 saura s’adapter à votre besoin. Nous pouvons également sur demande proposer ce bâti en configuration verticale.
  • Caractéristiques générales
Largeur enceinte : 440 mm
Hauteur : 320 mm
Volume : 420 litres
Vide limite (configuration turbo) : 5.10-7 mbar[1]
Vide limite (configuration cryogénique) : 5.10-8 mbar[1]
Capacité machine : Jusque 4 cathodes 381 x 127 mm
Dimensions substrat : 310 x 400 mm
Uniformité planar : < +/- 3%[1]
Activation de surface : Oui, etching
Chauffage : Oui, jusqu’à 600°C
Pilotage machine automatique : - Gestion des procédés ;
- Traçabilité.
PDF - 1.8 Mo
Plaquette de présentation LINE440

[1] Ces valeurs sont des valeurs mesurées sur des équipements réalisés et sont données à titre indicatif car sont tributaires de la configuration finale de chaque équipement.

Portfolio

LINE440 (ouverte) : dépôt automatisé de couches minces PVD en ligne (Alliance (...) LINE440 (sas ouvert) : dépôt automatisé de couches minces PVD en ligne (...)
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